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掃描電鏡

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詳細介紹

應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè)

　　一、產(chǎn)品描述：

　　模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用

　　EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結(jié)合在一起，同時能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學，材料科學，或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

　　顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的多功能解決方案

　　不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

　　使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

　　對不導電和無導電涂層的樣品的成像和分析性能出色

　　可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

　　二、優(yōu)勢：

　　1、便捷的可用性

　　SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學，大大減少了培訓所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

　　2、優(yōu)異的圖像質(zhì)量

　　EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)，維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、對比度和信噪比。

　　3、EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

　　EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

　　4、適合更多用戶操作

　　對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶操作都很方便

　　在實際的實驗室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰(zhàn)，比如學生、受訓者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求，用戶界面選項既能滿足有經(jīng)驗的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。

　　專家用戶

　　優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

　　專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能。

　　SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶使用的控制界面

　　新手用戶

　　優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

　　新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學者。

　　SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡化圖形用戶界面

　　智能導航與成像

　　大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出

　　蔡司導航相機

　　相機可以安裝在倉室前方，以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門上方 (導航相機)，利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置，并在整個樣品測試過程中輕松導航。

　　自動化智能成像

　　EVO實現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域，自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

　　將您的研究提升一個層次

　　使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

　　六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個方面:

　　在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下，有更多探針電流可供使用，從而使圖像導航和優(yōu)化更容易

　　在相等的探針電流 (信噪比) 下，光斑直徑要小得多，從而提高了圖像分辨率

　　低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲，右: 使用LaB6燈絲)

　　當在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下，使用LaB6燈絲的用戶將有高達10倍的光束亮度，從而提高了圖像分辨率和對比度。

　　EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

　　工作流程自動化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

　　Shuttle & Find 將EVO、光學顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

　　由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商，所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。

　　通過使用Shuttle & Find(蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分)，您可以在(數(shù)碼)光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學顯微鏡*的光學對比方法與同樣*的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合，獲得互補的數(shù)據(jù)，從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。

　　蔡司 SmartEDX

　　用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

　　如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會借助能譜儀(EDS)來采集元素化學成份的空間分布信息。

　　針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進行了優(yōu)化

　　SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過謹慎細致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用，尤其對于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流(典型的EVO工作條件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過率, SmartEDX更適合于探測到來自輕元素的低能X射線。

　　工作流程引導的圖形用戶界面

　　SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性。與其他蔡司工作流程引導的軟件解決方案(如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一樣，SmartEDX軟件易于學習，使用直觀，并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性，尤其是在多個操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中。

　　全fang位的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

　　SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負責，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。

　　EVO 系列真空室尺寸選擇

	蔡司EVO 10	蔡司EVO 15	蔡司EVO 25
	選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個非常實惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點。即使這個EVO真空室很小，它也不同于臺式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準備。	EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念，并擅長于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室，并增加對不導電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式，你將有一個多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的解決方案。	EVO25 是工業(yè)的主力解決方案，它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件。可選的 80 mm Z 軸行程載物臺可進一步擴展 EVO 25的功能，它可以處理重量高達2公斤的樣品甚至傾斜。此外，大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。
最大樣品高度	100 mm	145 mm	210 mm
最大樣品直徑	230 mm	250 mm	300 mm
電動載物臺行程XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (或 80) mm
高真空模式 (HV) 導電樣品質(zhì)量的成像與分析
可變壓力模式 (VP) 不導電且不噴涂導電層樣品的高質(zhì)量成像和分析
擴展壓力模式 (EP) 含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像